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Halbleiter / Elektronik
Hochgenaue Temperierlösungen für die Halbleiter- / Elektronikproduktion
Hochgenaue Temperaturen für exakte Fertigungsbedingungen
Hochgenaue, reproduzierbare Temperaturen sind ein entscheidender Faktor bei der Fertigung von Mikroelektronik und Halbleitern. Unsere Prozessthermostate und -kühler eigenen sich bestens für zahlreiche Anwendungen in der Elektronik und Halbleiterproduktion. Die Heiz- und Kühlsysteme bieten viele Vorteile:
- Hochgenaue, reproduzierbare Temperaturen
- Dynamisches Regelverhalten
- Schnelles Aufheizen und Abkühlen
- Umwälzpumpen mit hoher Druck- und Förderleistung
- Betrieb mit elektrisch nicht-leitenden Flüssigkeiten, z.b. Galden
- Zuverlässige Technik und robuste Bauweise
In den Bereichen Halbleiter und Elektronik werden unsere Temperiergeräte beispielsweise zur Temperierung von Ätzbädern für die nasschemische Herstellung von Wafern und Mikrochips eingesetzt. Weitere Anwendungen sind die metallorganische Gasphasenabscheidung (MOCVD) bei der Halbleiterbeschichtung sowie temperaturabhängige Funktions- und Materialprüfungen an elektrischen und elektronischen Bauteilen und Funktionsgruppen unter Verwendung von nichtleitenden Thermofluiden wie Galden oder FC77.
Unsere Temperiergeräte gewährleisten hochgenaue und konstante Temperaturen im Fertigungsprozess von Elektronikbauteilen und Halbleitern. Bei den anspruchsvollen Produktionsverfahren für die immer kleiner werdenden Mikroschaltkreise sind reproduzierbare Temperaturen ein wesentlicher Faktor für eine gleichbleibende Fertigungsqualität. Unsere Temperiertechnik ist bekannt für zuverlässige und hochgenaue Temperierung in zahlreichen Industriebranchen. Prozessthermostate und -kühler verbessern die Effizienz und Qualität bei der Fertigung von Mikroelektronik und Halbleiterkomponenten.
Einsatzgebiete
Kundenspezifische Lösungen
Ob Wärmetauscher, Fühleroptionen oder Automatisierung – wir konstruieren individuell passende Lösungen, die auf Ihre Anwendungsfälle zugeschnitten sind.
Weitere Informationen
Kontakt & Ansprechpartner
Sie benötigen Unterstützung bei der Auswahl des passenden Produktes oder suchen eine maßgeschneiderte Lösung für Ihren Anwendungsfall? Unsere Produktpezialisten beraten Sie gerne persönlich und beantworten Ihre Fragen zu unseren Temperierlösungen.